光刻機有多依賴先進陶瓷?

光刻機有多依賴先進陶瓷? | 2020-09-29

  最近,全球光刻機大佬ASML給美國的工程陶瓷企業CoorsTek頒了一個卓越供應商獎。頒獎是歐美大企業的常見行為,用以表達對上游供應商準時提供令人滿意貨物的認可,有的還包括資金或實物支持。

  在光刻和晶圓檢驗中會用到諸多陶瓷元件,軸承、導軌、內襯、加熱、承載、固定,幾乎無所不能,無所不在。在CoorsTek而言,其產品有包括物理、化學、原子層沉積用襯板、過濾器等組件;等離子蝕刻設備元件,如用于改善晶圓蝕刻均勻性的聚焦環、氣體噴嘴、腔體封蓋等;快速熱處理和外延加工元件;離子注入設備元件,如陶瓷空氣軸承等;光刻和晶圓檢測元件,如夾頭、晶圓載體等;低壓化學氣相沉積及傳熱組件,如擋板、支架、噴頭等;化學機械拋光(CMP)用拋光臺和拋光板;各種半導體部件加工時的提升、加熱、末端接觸部件,等等……它們按用途需要具備抗靜電、耐高溫、耐腐蝕、不膨脹等特點。

  據小編初步統計,僅CoorsTek披露的光刻機用先進陶瓷部件就近30種,其中尤以碳化硅(直接燒結、重結晶、氣相沉積)為主,還包括氮化硅、氮化鋁、剛玉、氧化釔、高純石英等多種材質及形式的超純及復合材料。而ASML的陶瓷部件供應商當然不止CoorsTek一家,部件也遠不止幾十種。隨著我國光刻機攻堅征途不斷前行,當然會給先進陶瓷產業帶來眾多機遇!

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